据称台积电购买的EUV极紫外光刻机来自荷兰公司ASML(阿斯麦)，据称其中隐藏了一个潜在的致命后门，可以在必要时远程触发自毁功能。
关于这个自毁功能的存在原因以及可能的使用时机，目前尚无法得知。
但目前尚不清楚它到底是否真的存在，以及具体是如何工作的，ASML、台积电也均未公开回应。
此前，台积电高级副总裁张晓强公开抱怨，ASML最新的高数值孔径EUV光刻机虽然性能令人满意，但是“价格实在太高了”。
传闻这种新光刻机的价格高达约3.5亿欧元(约合人民币27亿元)，Intel已经采购并开始安装第一台，而台积电一直没有明确采购计划。
稍早些时候，ASML原首席执行官Peter Wennink还对外披露，在某些情况下，美国政府将阻止ASML为其之前出售给中国大陆客户的一些光刻机提供售后服务，这与其在4月中旬的表态大相径庭，当时还说美国政府拦不住。
