众所周知,光刻机是当前国产所有半导体设备中,相对最落后的一种。而光刻机又是芯片制造中,必不可少的一种,同时也是美国限制我们的一种。
所以在当前情况之下,能不能从国外买到先进光刻机,成为了国内芯片制造技术能不能突破的关键之一了。
比如芯片工艺要进入40nm必然使用浸润式DUV光刻机(ArFi),但这种浸润式DUV最多也就使用至7nm,而进入7nm以下,必须使用EUV光刻机……
如下图所示,ASML的光刻机型号,是对应一代又一代芯片工艺的,理论上来讲,上一代的光刻机,很难撑起一下代芯片技术。
这也是ASML营收的根本,不断推出新光刻机,推动芯片工艺前进。
不过大家也都清楚,目前我们买不到EUV光刻机,国内所拥有的只有波长为193nm的ArFi光刻机,也就是浸润式DUV光刻机。
按照ASML的说法,这种光刻机,最多也就支持到7nm,且制造7nm芯片时,还要经过多重曝光才行,导致成本上升,良率下降。
那么没有EUV光刻机,是不是意味着我们的芯片工艺,就只能锁死在7nm,再也无法前进了么?
而近日,有国外的半导体科研人员表示,193nm的浸润式DUV光刻机,其极限绝不只是7nm,在通过多重曝光之后,是可以实现5nm工艺的。
并且经过实验室验证,193nm的浸润式光刻机,利用多重曝光技术,通过多次叠加和叠加修正,甚至能够超越5nm的芯片工艺。
因为现在的芯片工艺并不是与栅极宽度是对应的,更多的是一种等效工艺,故这种光刻机是完全可以实现的,当然相比于利用EUV光刻机,确实步骤复杂一些,成本也会高一点,良率相应的也降低一些。
但是,在没有EUV光刻机的前提之下,利用这种193nm的浸润式DUV,确实是可以生产5nm的芯片出来的。
不过,虽然技术是这样,但我认为,我们没有必要强上5nm而5nm,就只制造7nm也蛮好的,因为7nm和5nm相比,性能并不会有实际性的大提升,7nm也够用的情况下,强行上马5nm并无商业意义,你觉得呢?
当然,最终还是希望国产EUV光刻机早点推出,这才是解决问题的关键,一旦我们拥有了EUV光刻机,一切禁令都成为废纸,这才是真正的终极破局之法。
转载此文是出于传递更多信息目的。若来源标注错误或侵犯了您的合法权益,请与本站联系,我们将及时更正、删除、谢谢。
https://www.414w.com/read/600029.html