稳了, 国内193nm的DUV光刻机, 也能制造5nm芯片

互联网乱侃秀2024-05-26 10:08:49  111

众所周知,光刻机是当前国产所有半导体设备中,相对最落后的一种。而光刻机又是芯片制造中,必不可少的一种,同时也是美国限制我们的一种。

所以在当前情况之下,能不能从国外买到先进光刻机,成为了国内芯片制造技术能不能突破的关键之一了。

比如芯片工艺要进入40nm必然使用浸润式DUV光刻机(ArFi),但这种浸润式DUV最多也就使用至7nm,而进入7nm以下,必须使用EUV光刻机……

如下图所示,ASML的光刻机型号,是对应一代又一代芯片工艺的,理论上来讲,上一代的光刻机,很难撑起一下代芯片技术。

这也是ASML营收的根本,不断推出新光刻机,推动芯片工艺前进。

不过大家也都清楚,目前我们买不到EUV光刻机,国内所拥有的只有波长为193nm的ArFi光刻机,也就是浸润式DUV光刻机。

按照ASML的说法,这种光刻机,最多也就支持到7nm,且制造7nm芯片时,还要经过多重曝光才行,导致成本上升,良率下降。

那么没有EUV光刻机,是不是意味着我们的芯片工艺,就只能锁死在7nm,再也无法前进了么?

而近日,有国外的半导体科研人员表示,193nm的浸润式DUV光刻机,其极限绝不只是7nm,在通过多重曝光之后,是可以实现5nm工艺的。

并且经过实验室验证,193nm的浸润式光刻机,利用多重曝光技术,通过多次叠加和叠加修正,甚至能够超越5nm的芯片工艺。

因为现在的芯片工艺并不是与栅极宽度是对应的,更多的是一种等效工艺,故这种光刻机是完全可以实现的,当然相比于利用EUV光刻机,确实步骤复杂一些,成本也会高一点,良率相应的也降低一些。

但是,在没有EUV光刻机的前提之下,利用这种193nm的浸润式DUV,确实是可以生产5nm的芯片出来的。

不过,虽然技术是这样,但我认为,我们没有必要强上5nm而5nm,就只制造7nm也蛮好的,因为7nm和5nm相比,性能并不会有实际性的大提升,7nm也够用的情况下,强行上马5nm并无商业意义,你觉得呢?

当然,最终还是希望国产EUV光刻机早点推出,这才是解决问题的关键,一旦我们拥有了EUV光刻机,一切禁令都成为废纸,这才是真正的终极破局之法。

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最新回复(10)
  • 逆子loki2024-05-27 15:28
    引用10
    听说华为又买arm9授权了,啥意思呢?它到底行不行
  • 界面大秦2024-05-27 15:26
    引用9
    造不出来就造不出来吧,没啥不好意思的~~[打脸][打脸][打脸]
  • 郑州网球张师傅2024-05-27 14:58
    引用8
    DUV光刻机,把光源换成EUV的极紫外光源,不知道能不能搞定5纳米以下
  • 是姜威2024-05-27 07:14
    引用7
    拉黑
  • 春占枝头2024-05-27 07:03
    引用6
    这主要是成本的问题!以前是成本太高没有竞争力,现在是没办法只能接受!
  • 平安是福课程2024-05-26 22:06
    引用5
    先解决5g芯片有无问题再说好与不好
  • 聚光灯下2024-05-26 21:28
    引用4
    进口一片芯片1200元人民币,自己做哪怕良品率不高1000能下来也可以的,解决了卡脖子也增加了就业,同时减少外汇使用,过不了几年发展到位美国的企业就只能喝西北风了。
  • 凡宝宝在吹风2024-05-26 19:37
    引用3
    华为是没有苹果好,但我就是买华为,你随我
  • 君子咋唐2024-05-26 14:02
    引用2
    什么玩意,我手戳芯片的,还推送给我干嘛
  • 虫虫谈娱乐2024-05-26 10:48
    引用1
    做5nm 的良品率太低了,商用的话没有经济性,7nm的华为芯片成本高也是这个用duv的原因