证券之星消息，根据企查查数据显示微导纳米（688147）公布了一项国际专利申请，专利名为“一种喷淋组件、半导体设备及晶片的加工方法”，专利申请号为PCT/CN2023/110761，国际公布日为2024年3月14日。
专利详情如下：
今年以来微导纳米已公布的国际专利申请3个。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了6390.04万元，同比增3.34%。
以上内容由证券之星根据公开信息整理，由算法生成，与本站立场无关。证券之星力求但不保证该信息（包括但不限于文字、视频、音频、数据及图表）全部或者部分内容的的准确性、完整性、有效性、及时性等，如存在问题请联系我们。本文为数据整理，不对您构成任何投资建议，投资有风险，请谨慎决策。
