近日,全球光刻机巨头佳能正式宣布,自己已向美国德克萨斯州的半导体联盟——德克萨斯电子研究所 (TIE),出货了一台最新的纳米压印光刻 (NIL) 系统FPA-1200NZ2C,引发全球关注。
为何这台FPA-1200NZ2C会引发大家的关注呢?原因在于它是佳能去年发布的,一台可用于5nm芯片工艺的设备,使用它,可以不用EUV光刻机,即可制造5nm芯片。
要知道,在它诞生之前,所有5nm的芯片,都必然使用EUV光刻机,但全球又只有ASML一家能生产EUV光刻机。
而佳能的NIL设备诞生后,给大家展示了另外一条制造5nm芯片的路,那就是纳米压印,这完全是换道超车了,自然引发大家关注。
事实上,对比EUV光刻机,这种纳米压印机,也是有很多优势的,比如其售价只有EUV光刻机的十分之一左右,全套纳米压印生产线,相比于EUV光刻生产线,成本低了40-50%。
当然,纳米压印也有缺点,那就是一套NIL生产线的产量,和EUV相比,低很多,在超大规模的芯片制造中,还是有很大的提升空间,不如EUV效率高。
另外就是,使用纳米压印技术时,全套生产设备,都不能与EUV光刻设备配套,生产线的设备,全部要重新更换,这对于一些拥有EUV生产线的芯片厂而言,很难接受,毕竟抛弃掉一种,全部替代,不太可能。
但很明显,这样的NIL,对中国芯片厂而言,就有巨大的诱惑了。
一方面是成本低,二是EUV之外的第二条路,毕竟ASML的EUV光刻机我们买不到啊。
另外缺点方面,也不是大缺点,我们不需要超大的5nm芯片生产产能,同时我们也没有EUV光刻生产线,反正都是从0开始建,直接建立NIL生产线,成本又低一些,何乐而不为呢?
其实,之前佳能就有想法,这样的设备生产出来后,可以卖给中国的。
但后来美国针对中国半导体产业,实施了各种禁令,日本、荷兰也跟进,导致佳能的这种设备,就无法出货给中国了,这真的是遗憾。
因为除了中国之外,佳能找不到更合适的,大量需要NIL设备的国家或地区了,毕竟另外能够制造5nm芯片的intel、台积电、三星都有大量的EUV生产线,切换成NIL生产线,几乎不可能。
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