对半导体行业有一定了解的用户都知道光刻机被誉为“半导体工业皇冠上的明珠”,因此光刻机对半导体产业的发展至关重要。
而ASML是全球唯一一家可以生产EUV光刻机的半导体厂商,并且它在浸润式DUV光刻机市场也有90%以上的市场份额,因此ASML卡住了全球晶圆厂商的“脖子”,这里面就包括中芯国际、长江存储等国产厂商。
不过光刻机的研制不是一朝一夕可以完成的,我国经过20多年的发展,目前已知的最先进光刻机就是氟化氩光刻机,这款光刻机分辨率为65nm,套刻工艺为8nm。
按照套刻比1:3计算,这款氟化氩光刻机可以生产28nm芯片,因此这款光刻机算是28nm光刻机。和ASML的2nm光刻机、3nm光刻机相比,我国最先进的光刻机还是有不小的差距。
虽然我国在光刻机领域和ASML差距较大,但在其他领域,我国却取得了非常大的进步。据悉,近日,国产半导体巨头正式宣布交付7nm工艺产品,对此,外媒表示:反转再次出现。
半导体行业是一个科技含量非常高的行业,这里面设计的设备非常多,其中就包括光刻机、等离子蚀刻机、离子注入机、单晶炉等。而有一款设备也非常重要,那就是半导体检测设备。
据悉,半导体检测设备是芯片制造过程中检测芯片性能、与缺陷的设备。这个检测伴随着芯片生产过程中的每一个环节,对芯片的质量、良品率起到关键的作用。正因为半导体检测设备的重要性,很多半导体专业人士认为半导体检测设备的科技含量仅次于光刻机。
此前,半导体检测设备一直被国外的KLA等少数巨头所垄断,我国的半导体检测设备厂商面对它们几乎毫无招架之力。
随着芯片重要性的凸显,我国半导体厂商开始注重半导体产业的研发投入,这几年就包括28nm光刻机、麒麟9010、4nm蚀刻机等产品的突破。而在半导体检测设备领域,我国的精微电子正式宣布了。
近日,精微电子在投资者互动平台表示:精微电子是国内半导体检测设备领域领军企业之一,其麾下的部分主力产品已经完成7nm先进制程的交付和验收,目前更先进制程的产品正在验证中。
据悉,精微电子是我国半导体巨头之一,在半导体检测设备领域具有很大的话语权。目前,精微电子已经向客户交付了14nm工艺产品,这表明精微电子已经掌握了成熟的14nm工艺检测设备。
精微电子的这次表态算是打破了KLA等厂商的垄断,也加快了我国半导体检测设备的自主化,这对于我国半导体产业的整体发展无疑是打上了一剂强心剂。
写在最后
从华为自研自产了麒麟9000S芯片,到中芯国际掌握7nm芯片技术,再到国产28nm光刻机问世,我国半导体技术是一次次实现反转,这让以美方为首的“封锁联盟”非常无奈。现如今国产半导体检测设备突破了7nm水准,实现了交付、验收,这再次打了封锁联盟的脸。正因为如此,有外媒才表示:反转再次出现了。
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