西方最担心的事来了！
日前，中微公司董事长尹志尧在接受采访时表示：“目前主要零部件自主可控率已达到90%以上，到今年第三季度末可以达到100%。”
尽管在半导体设备领域，离国际最先进水平还有相当一段距离，但中国的数百家半导体设备公司都在拼命努力，发展速度特别快，几乎涵盖了半导体十大类设备的所有门类。
所以，相信再用五至十年时间，达到国际最先进水平的目标完全可以实现。
据尹志尧介绍，中微公司的等离子体刻蚀机，包括高能CCP及低能ICP刻蚀机，可以全面取代国际先进设备。
看来，西方的好日子可能真的不多了。
刻蚀机作用
说到刻蚀机，大家可能不知道，它的重要性堪比光刻机。
甚至接下来，会扮演着比光刻机更关键的角色。
那么，刻蚀机是做什么用的？
简单来说，刻蚀机的工作原理是通过物理、化学或两者结合的方式来移除不需要的材料。
当光刻机通过在晶圆表面涂覆一层光刻胶，并使用光掩膜将图案“曝光”到光刻胶上。
此时，这些图案已经标记出哪些部分的材料需要保留，哪些部分需要去除。
而刻蚀机，则负责将没用的部分刻蚀掉，只保留有用的部分，从而形成电路图。
工艺方面，目前主要分湿法刻蚀与干法刻蚀。
所谓湿法刻蚀，主要通过腐蚀性的化学试剂，来腐蚀掉目标材料。
缺点就是化学试剂在水平和垂直方向上，是以相同的速度腐蚀，因此无法准确控制腐蚀的边界，导致图案的边缘可能会变得模糊。
打个形象的比方，你用一块板子能够挡住洪水吗？
答案是不能，因为水会绕过这块板子。
所以，这种工艺一般用于清洗或去除非关键区域的材料，很少用于精密图案的刻蚀。
而干法刻蚀则不一样，通过等离子释放带正电的离子来撞击晶圆以去除（刻蚀）材料，刻蚀精度会更高。
因此，这种工艺主要用在复杂的图案结构中。
根据等离子体的产生的放电方式不同，大致分为两类，即CCP刻蚀机（电容耦合等离子体刻蚀机）和ICP刻蚀机（电感耦合等离子体刻蚀机）。
可以简单理解，刻蚀机好比是雕刻中的刻刀一样，将不需要的部分给去除掉。
一般来说，刻蚀过程分前后两段。
在前道工艺中，主要用于硅和硅化合物的刻蚀，而在后道工艺中，则用于金属互连线和电介质层的刻蚀。
因此，可以说刻蚀机的性能直接影响了最终芯片的质量和良品率。
目前，最先进的是等离子体刻蚀机。
其利用高能量的“等离子体”，可以对金属表面进行精准蚀刻，避免了传统化学刻蚀中可能出现的过度腐蚀问题，从而确保刻蚀过程的精度和一致性。
现代半导体制造工艺中，随着制程节点的缩小，刻蚀的次数显著增加。
根据SEMI（国际半导体产业协会）的数据，在65nm的制程下，刻蚀次数大约在20次；而到了5nm，刻蚀次数达到了154次。
在芯片制造业、光刻机的成本占比在23%到30%左右，刻蚀机的成本占比在20%到27%左右。
由此可见，刻蚀设备同样极为重要。
这么说吧，光刻决定了电路的横向分辨率，也就是“水平的精度”，而刻蚀则影响了电路结构的纵深和形状，也就是“垂直的精度”。
所以，想要制造出高端芯片，光刻机和刻蚀机缺一不可，精度更是要求一致，两者都在挑战制造的极限。
国产刻蚀机进展如何
目前，国产刻蚀机的“领军者”是上海中微半导体公司。
该公司于2004年由尹志尧博士代领的海归人才创办。
创始人尹志尧博士曾在英特尔、泛林、应用材料等企业均工作过，积累了大量的经验、技术和人脉。
在半导体行业，其个人拥有86项美国专利，和200多项各国专利，属于真正的顶级专家。
2007年，中微推出了第一代国产刻蚀机，还采用了双工作台，比国外竞品效率还要高。
2017年，中微又成功研制了全球首台5nm等离子刻蚀机。
不仅填补了国内在高端刻蚀设备上的空白，还在全球范围内率先实现了5纳米制程的刻蚀能力，奠定了其行业领导者的地位。
近年来，中微在技术上进一步突破，目前已实现3nm刻蚀机并实现量产，客户包含台积电、中芯等国际顶级晶圆厂。
中微不仅在技术上实现了突破，其市场表现也相当出色。
截至目前，中微已经在全球范围内部署了约3700台等离子体刻蚀和化学薄膜设备，覆盖了国内外100多条生产线。
市场份额方面，中微也是遥遥领先。
比如，在中国电容耦合等离子体（CCP）刻蚀设备市场的市场份额已上升至60%，应用覆盖度高达94%；
而在电感耦合等离子体（ICP）工具市场，中微的份额从几乎为零上升至75%，应用覆盖度高达95%；
同时，中微在先进存储和逻辑产线的刻蚀设备覆盖率均超过65%。
尤其是，中微开发的等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备，更是制造各种微观器件的关键设备。
随着芯片制程的不断缩小，对刻蚀精度的要求也越来越高。
据悉，目前中微的刻蚀机已经做到了皮米水平，相当于头发丝350万分之一的精准度。
这种级别的精度，对于实现超高密度的集成电路至关重要，也凸显了中国在半导体制造设备领域的领先地位。
结尾
众所皆知，芯片制造是一个高度复杂的过程，涉及多达数百种不同类型的设备。
而根据木桶理论，一个木桶能装多少水，取决于最短的那一块木板。
同样，在芯片制造中，整个生产流程的效率和最终产品的质量，取决于性能最弱的设备或工艺环节。
所以，如果其他设备都和国产刻蚀机一样达到3nm，那么老美的禁令就如同废纸一样，根本就不用搭理。
